스펙 · 삼성전자 / 공정기술
Q. ALD 공정에 관한 질문입니다!!
ALD로 al2o3를 5nm 타겟으로 300도와 50 사이클로 진행했습니다. 이후 엘립소미터로 측정한 결과, 6.5nm가 증착이 됐는데 uniformity는 0.3%대로 좋았습니다. 제가 생각해본 거는 사이클을 조절하여 타겟에 근접하게 조절하는 것이고 두번째는 온도를 조절하는 것입니다. 온도를 조절할 때는 밀도와 균일도 등 고려할 요소가 많아서 그것들을 고려한 최적의 온도 범위를 선정하려고 합니다. 이를 공정 조건 수정안으로 제시하여 자기소개서 경험을 채우려고 합니다..! 제가 생각하는 것이 타당한 지 좀 알고 싶습니다ㅠㅜ 프리커서나, 퍼지, 반응물의 시간을 그 당시에 체크를 하지 못해 지금 조절할 수 있는 것은 사이클과 온도밖에 없네요.. 엔지니어의 사고답게(?) 타당한 지 피드백 좀 듣고 싶습니다. 감사합니다.
2026.01.28
답변 6
프로답변러YTN코부사장 ∙ 채택률 85%
채택된 답변멘티님 현재 균일도가 우수하다는 것은 공정 최적화가 이미 잘 이루어졌다는 뜻이므로 변수가 많은 온도를 건드리기보다 선형 제어가 가능한 사이클 횟수를 줄이는 것이 가장 정확하고 공학적인 접근입니다. GPC가 사이클당 0.13나노미터로 계산되니 이를 근거로 약 38회로 횟수를 조정해 목표 두께를 맞추는 것이 리스크 없이 수율을 높이는 엔지니어의 정석적인 사고방식입니다. 온도는 막질의 밀도나 불순물 등 품질에 영향을 주는 변수이므로 단순 두께 조절용으로는 부적합하다는 점을 명확히 하시기 바랍니다. 채택부탁드리며 파이팅입니다!
전문상담HL 디앤아이한라코이사 ∙ 채택률 63%채택된 답변안녕하세요 성실히 답변 드릴게요 반도체 엔지니어의 시각에서 핵심만 짚어 답변해 드립니다. 1. 사이클(Cycle) 조절: 가장 현실적이고 타당한 방법 근거: ALD의 핵심은 **GPC(Growth Per Cycle)**입니다. 현재 $GPC = 6.5\text{nm} / 50\text{cycles} = 0.13\text{nm/cycle}$입니다. 해결책: 5nm가 타겟이라면 약 38~39 사이클로 조정하는 것이 가장 직관적이며, Uniformity(0.3%)가 이미 훌륭하기 때문에 공정 안정성을 해치지 않는 이 방법이 Best입니다. 2. 온도 조절: 신중해야 하는 접근 근거: 온도를 바꾸면 ALD Window(증착률이 일정한 구간)를 벗어날 위험이 있습니다. 리스크: 온도를 낮추면 물리 흡착(Physisorption)으로 두께가 불규칙하게 두꺼워질 수 있고, 높이면 전구체 분해로 인해 ALD 특성(Self-limiting)을 잃고 Uniformity가 깨질 수 있습니다. 제언: 자기소개서에는 "온도 변화를 통한 밀도(Density) 개선 가능성도 검토하되, 우선적으로 검증된 GPC를 바탕으로 사이클 수를 최적화하여 생산성(Tact time)을 높였다"는 논리로 푸는 것이 훨씬 엔지니어답습니다. 결론: 사이클 조절은 '정밀도 확보', 온도 조절은 **'막질 개선'**의 관점으로 분리하여 서술하시면 논리적으로 완벽합니다.
- PPRO액티브현대트랜시스코전무 ∙ 채택률 100%채택된 답변
먼저 채택한번 꼭 부탁드립니다!! 말씀하신 접근은 충분히 엔지니어다운 사고입니다. ALD에서 원하는 두께와 실제 증착 두께의 차이가 발생했을 때, 먼저 사이클 수 조절은 가장 직관적이고 표준적인 방법입니다. ALD는 기본적으로 1사이클당 성장률(Growth Per Cycle, GPC)이 일정하므로, 목표 두께에 맞춰 사이클을 계산하는 것이 맞습니다. 다만, 실제 GPC는 온도, 전구체 특성, 표면 포화 상태에 따라 변할 수 있으므로, 온도나 사이클만으로 조절할 때는 약간의 오차가 생길 수 있습니다. 두 번째로 온도 조절도 타당합니다. ALD에서는 증착 온도가 높아지면 GPC가 변하거나 전구체의 반응성·밀도·균일도에 영향을 줄 수 있기 때문에, 최적 온도 범위를 선정해 증착 특성을 확인하는 전략은 합리적입니다. 현재 프리커서 도징 시간, 퍼지 시간 등은 체크하지 못했으므로, 현실적으로 조절 가능한 사이클과 온도 중심의 조건 최적화로 자기소개서 경험을 구성하는 것이 충분히 설득력 있습니다. 균일도가 0.3%로 우수했다는 점도 강조하면, 단순 두께 조절 이상의 공정 이해도를 보여줄 수 있습니다.
- 탁탁기사삼성전자코사장 ∙ 채택률 78% ∙일치회사학교채택된 답변
온도를 조절하는 것은 현업에서도 공정개발 시 중요하게 하는 항목입니다. 또 ald 사이클 조절도 설비 내에 사이클 적는 란이 있듯이 중요한 항목이라 해당 파라미터를 토대로 수치적그리고 두괄식으로 작성하셔도 좋습니다 ㅎ 그리고 퍼지와 시간등도 논문을 조사하거나 하셔서 파라미터 스플릿평가를 더 해봤다고 어필하셔도 좋습니다.
댓글 1
wwwestttt작성자2026.01.27
답변 감사합니다. 공정 조건 수정을 생각으로만 해보고 다시 적용을 해보는 실습을 해볼 수 없어서 확신이 안 들었네요ㅜㅜ
- 메메에모리삼성전자코상무 ∙ 채택률 49% ∙일치회사
네 충분히 타당한 접근인 것 같습니다.
- 흰흰수염치킨삼성전자코전무 ∙ 채택률 58% ∙일치회사직무
안녕하세요. 멘토 흰수염치킨입니다. 조절 가능한 파라미터 내에서 변경해보는 것이 현실적으로 맞죠 타당한거 같네요 도움이 되었으면 좋겠네요. ^_^
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